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Z-轴 2G 加速 最高 100mm 行程和 3 轴选项 15mm 超薄三轴设计 真空吸头 力控制 +/- 3g (配合推荐驱动器) 搭配 APK-ME3 驱动器和其它驱动器
动态性能优秀、快速运动及整定、纳米级静态抖动
PGS-XY特点：堆叠XY平台；高速，高加速；高精度，高刚性；无齿槽力
导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损