PRODUCTS CENTER
Product Description
设计特点：
A. 无摩擦，无磨损柔性导向
B. 机械设计紧凑 -- 在极小空间中实现四自由度 (Z, Rx, Ry, Rz) 运动
C. 动态性能优秀、快速运动及整定、纳米级静态抖动
D. 内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
E. 适用于晶圆检测、量测应用中的对焦，对准环节
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A. 无摩擦，无磨损柔性导向
B. 机械设计紧凑 -- 在极小空间中实现四自由度 (Z, Rx, Ry, Rz) 运动
C. 动态性能优秀、快速运动及整定、纳米级静态抖动
D. 内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
E. 适用于晶圆检测、量测应用中的对焦，对准环节
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