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AMS
直驱，紧凑型设计，行程15mm，其他行程可定制，内置光栅尺，重复定位精度可达±0.3μm，分辨率可选0.2μm、0.05μm、SINCOS，可灵活组合，叠加成XY或搭配AMR叠加成XT或XYT平台
Category:
微型模组
Phone:400-888-8888
Product Description
设计特点
A. 超薄设计
B. 直驱技术
C. 高响应
D. 高精度光学编码器
E. 可叠加使用
典型应用领域：适用于亚微米级定位、光学对位平台，力控制
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