AAL系列
导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
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设计特点：
A.高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动
B.超精等级几何精度满足高端定位系统需求
C.导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
D.内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作
E.适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用
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AAL270
电机参数 单位 无屏蔽排线版 AAL270-X-XX-XX-X-A-X 带屏蔽排线版 AAL270-X-XX-XX-X-B-X 电机型号 - AUM3-P-S3 AUM3-P-S3 持续推力(自冷) @100ºC ① N 85 85 峰值推力 N 433 433 力常数 ±10% N/Arm 23.6 23.6 反电势常数 ±10% Vpeak/(m/s) 19.2 19.2 相间电阻 @25ºC ±10% ② Ω 3.3 3.3 相间电感 ±40% ③ mH 2.62 2.62 持续电流(自冷) @100ºC ① Arms 3.6 3.6 峰值电流 Arms 18.4 18.4 最高母线电压 ④ Vdc 100 330 电磁周期 mm 60 60 机械参数 ⑤ 单位 100 mm 200 mm 300 mm 400 mm 500 mm 分辨率 μm SINCOS SINCOS SINCOS SINCOS SINCOS 定位精度 (补偿后) μm ±0.2 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5 双向重复定位精度 (ISO230-2) μm ±0.075 ±0.1 ±0.15 ±0.2 ±0.2 平面度 μm ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0 直线度 μm ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0 侧倾 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 俯仰 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 横摆 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 额定负载 kg 40 最大空载加速度 m/s2 20 最大空载速度 m/s 1.0 空载运动质量 (无屏蔽排线版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X kg 7.3 空载运动质量 (带屏蔽排线版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X kg 7.7 空载总质量,单轴 (无屏蔽排线版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X kg 22.7 26.0 29.3 32.5 35.8 空载总质量,单轴 (带屏蔽排线版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X kg 23.8 27.2 30.6 33.9 37.3 工作环境温度 ℃ 10~40 注：
1 测量室温25ºC，取决于散热环境。 相关参数规格如有变动，恕不另行通知。
2 电阻测量采用直流电流，含0.5米标准线缆。
3 电感测量频率1kHz，AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同，样册标定数值为最大值与最小值的平均值，对于每一相电感，浮动范围为±20%。 4 无屏蔽排线版的最高母线电压是100V。
5 机械规格指的是单轴模组。
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单轴无屏蔽排线版(AAL270-X-XX-XX-X-A-X)
XY堆叠无屏蔽排线版(AAL270-X-XX-XX-X-A-X)
单轴带屏蔽排线版(AAL270-X-XX-XX-X-B-X)
XY堆叠带屏蔽排线版(AAL270-X-XX-XX-X-B-X)
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