PGS-ZTPR 系列
动态性能优秀、快速运动及整定、纳米级静态抖动
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设计特点：
A. 无摩擦，无磨损柔性导向
B. 机械设计紧凑 -- 在极小空间中实现四自由度 (Z, Rx, Ry, Rz) 运动
C. 动态性能优秀、快速运动及整定、纳米级静态抖动
D. 内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
E. 适用于晶圆检测、量测应用中的对焦，对准环节
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参数规格 负载质量：1.4-2.0 kg
PGS-ZTPR-X-1-X-X-X
PGS-ZTPR-X-2-X-X-X
负载质量：2.0-2.5 kg
PGS-ZTPR-X-3-X-X-X
PGS-ZTPR-X-4-X-X-X
用于Z, Rx 和 Ry轴 电机型号 AVMG40-5 AVM040-G 持续推力(自冷) @100ºC①② 8.1 N 8.5 N 峰值推力 20.0 N 20.9 N 力常数 ±10%② 8.1 N/A 8.5 N/A 反电势常数 ±10%② 8.1 V/(m/s) 8.5 V/(m/s) 相间电阻 @25ºC ±10%③ 7.3 Ω 7.3 Ω 相间电感 ±20%④ 2.9 mH 2.9 mH 持续电流(自冷) @100ºC① 1.0 A 1.0 A 峰值电流 2.5 A 2.5 A 最高母线电压 48 Vdc 48 Vdc 用于Rz轴 电机型号 ACW130-P14-P-K-NH-0.1-NFB-Z25 持续转矩(自冷) @130ºC① 2.4 Nm 峰值转矩 8.3 Nm 转矩常数 ±10% 0.55 Nm/Arms 反电势常数 ±10% 0.047 Vpeak/rpm 相间电阻 @25ºC ±10%③ 2.20 Ω 相间电感 ±20%④ 1.4 mH 持续电流(自冷) @130ºC① 4.3 Arms 峰值电流 15 Arms 最高母线电压 330 Vdc 极数, 2p 16 用于抬升杆 电机型号 永磁式直流步进电机 相位 2 步距角 7.5° 额定电流 0.35 A 相间电阻 @20°C ±10% 14 Ω 线圈类型 双极性 机械参数 Z Rx,Ry Rz 抬升杆 有效行程 4 mm ±0.5 mrad 364°⑤ 10 mm 分辨率 SINCOS SINCOS 0.019 arcsec - 定位精度(补偿后) ±0.2 μm - ±4 arcsec - 单向重复定位精度 ±0.05 μm - - ±30 μm 双向重复定位精度 ±0.075 μm - ±3 arcsec - 典型静态抖动, 3σ, 1 kHz 截止频率 ±10 nm ±0.03 arcsec ±0.25 arcsec - 摆动误差 - - ±10 arcsec - 摆动误差重复性 - - ±1.5 arcsec - 径向跳动 - - ±5 μm - 径向跳动重复性 - - ±0.75 μm - 额定负载 1.4 - 2.5 kg⑥ 0.15 kg 最大加速度(视负载而定) 2 m/s² - 1E5 deg/s - 最大速度(视负载而定) 0.1 m/s² - 720 deg/s - 典型运动加整定时间(1.5 kg 负载) 1 μm 步进， 整定窗口 ±50 nm，整定时间 20 ms 100 μm 步进， 整定窗口 ±50 nm，整定时间 50 ms 1 μm 步进， 整定窗口 ±30 nm，整定时间 50 ms 100 μm 步进， 整定窗口 ±30 nm，整定时间 90 ms - 1° 步进， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定时间 100 ms 120° 步进， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定时间 400 ms 180° 步进， 整定窗口 ±0.4 arcsec，整定时间 1 s 10 mm步进， 时间 2 s 有效行程 8 kg 表面处理 黑色或自然阳极氧化处理(可选) 注：
1 测量时环境温度为25ºC，取决于散热环境。2 行程中点处的值。
3 电阻测量采用直流电流，含3 m标准线缆。
4 电感测量频率为1 kHz。
5 带抬升杆选项的模组的Rz有效行程为200°，硬限位行程大约250°。
6 必须针对准确负载进行配重设计，请联系cust-service@akribis-sys.cn。
相关参数规格如有变动，恕不另行通知。
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