PGS-XY 系列
PGS-XY特点:堆叠XY平台;高速,高加速;高精度,高刚性;无齿槽力
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设计特点:
A. 堆叠XY平台
B. 高速,高加速
C. 高精度,高刚性
D. 圆晶平台
E. 无齿槽力
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电机参数 单位 L U 电机型号 - AUM4-P-S6×2 AUM4-P-S5 持续推力(自冷) @100ºC① N 662 276 峰值推力 N 3744 1560 力常数 ±10% N/Arms 72 60 反电势常数 ±10% Vpeak/(m/s) 58.8 49 相间电阻 @25ºC ±10%② Ω 6.61 5.53 相间电感 ±20%③ mH 5.75 4.79 持续电流(自冷) @100ºC① Arms 4.6 4.6 峰值电流 Arms 26 26 最高母线电压 Vdc 330 330 电磁周期 mm 60 60 60 机械参数④⑤ 单位 L U 精度等级 - P UP P UP 有效行程 mm 300/350/400/450 300/350/400/450 分辨率 μm SINCOS SINCOS 重复定位精度 μm ±0.3 ±0.3 平面度 μm 5 5 总直线度 μm 7.5 7.5 局部直线度 μm/cm ±0.1 ±0.1 俯仰 arcsec 20 20 俯仰重复性 arcsec ±0.5 ±0.5 横摆 arcsec 20 20 横摆重复性 arcsec ±0.5 ±0.5 最小步进 nm 80 20 80 20 典型静态抖动⑥ nm ±20 ±5 ±20 ±5 信号周期⑦ μm 20 4 20 4 注: 1 测量时环境温度为25ºC,取决于散热环境。
2 电阻测量采用直流电流,含0.5米标准线缆。
3 电感测量频率1kHz,AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同,样册标定数值为最大值与最小值的平均值,对于每一相电感,浮动范围为±20%。
4 测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。
5 参数为单轴 (例如: X 和 Y 轴)。
6 高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。
7 更高精度编码器可定制。
★除了适用于标准环境的运动平台,雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr),带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。
相关参数规格如有变动,恕不另行通知。
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