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PGS-XY 系列

PGS-XY特点:堆叠XY平台;高速,高加速;高精度,高刚性;无齿槽力

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    设计特点:

    A. 堆叠XY平台

    B. 高速,高加速

    C. 高精度,高刚性

    D. 圆晶平台

    E. 无齿槽力

     

  • 电机参数 单位 L U
    电机型号 - AUM4-P-S6×2 AUM4-P-S5
    持续推力(自冷) @100ºC① N 662 276
    峰值推力 N 3744 1560
    力常数 ±10% N/Arms 72 60
    反电势常数 ±10% Vpeak/(m/s) 58.8 49
    相间电阻 @25ºC ±10%② Ω 6.61 5.53
    相间电感 ±20%③ mH 5.75 4.79
    持续电流(自冷) @100ºC① Arms 4.6 4.6
    峰值电流 Arms 26 26
    最高母线电压 Vdc 330   330
    电磁周期 mm 60 60 60
     机械参数④⑤ 单位 L U
    精度等级 - P UP P UP
    有效行程 mm 300/350/400/450 300/350/400/450
    分辨率 μm SINCOS SINCOS
    重复定位精度 μm ±0.3 ±0.3
    平面度 μm 5 5
    总直线度 μm 7.5 7.5
    局部直线度 μm/cm ±0.1 ±0.1
    俯仰 arcsec 20 20
    俯仰重复性 arcsec ±0.5 ±0.5
    横摆 arcsec 20 20
    横摆重复性 arcsec ±0.5 ±0.5
    最小步进 nm 80 20 80 20
    典型静态抖动⑥ nm ±20 ±5 ±20 ±5
    信号周期⑦ μm 20 4 20 4
    注:

    1 测量时环境温度为25ºC,取决于散热环境。

    2 电阻测量采用直流电流,含0.5米标准线缆。

    3 电感测量频率1kHz,AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同,样册标定数值为最大值与最小值的平均值,对于每一相电感,浮动范围为±20%。

    4 测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。

    5 参数为单轴 (例如: X 和 Y 轴)。

    6 高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。

    7 更高精度编码器可定制。

    ★除了适用于标准环境的运动平台,雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr),带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。

    相关参数规格如有变动,恕不另行通知。

     

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